一般的体对角线位移测量，标靶轨迹是直线，并且以角方镜来作标靶，因此只能容许较小的侧向位移。向量方法，变成分别沿着X轴、Y轴及Z轴作移动，重复这些动作直到对角线的相对端点。激光干涉仪是单光束激光，并以平面镜当作标靶，注意到当以平面镜当作标靶时，当移动平行平面镜时，激光光束并不会被遮断及改变与光源的距离，所以测量不会受到影响。因此可测量激光方向的移动及容许较大的标靶侧向移动。

    四、亚崴机器上的测量 测量在亚崴型号FV-1000的立式切削中心上进行，FV-1000是针对高速模具加工所设计，具强化肋的厚钢铁结构，提供机器较佳的刚性及防止任何可能影响切削准确度的弯曲或扭转。门柱是一体成形铸造可以符合较大的切削性能及吸收振动，门柱锁在床台顶部以确保最佳准确度的调校与垂直度，并可符合最大的刚性。机器工作空间是1050mm乘上600mm乘上540mm，控制器为Fanuc 18M。 

    五、激光向量方法、测量与补偿 

    1. 激光测量系统 激光校验系统为激光都普勒位移量尺（LDDM），由美国光动公司所制造，型号为MCV-500。它是新一代应用都普勒效应的单光束激光干涉仪，此系统具调整镜，容易操控激光光束到对角线方向。 在机器移动部的标靶为一75×100mm的平面镜，空气温度及压力可被测得并可补偿机器的热膨胀，自动资料采集，误差分析及自动产生补偿表，这些皆在光动公司LDDM版本2.50的窗口软件上执行。

    2.架设与调校 应用激光向量方法，机器可沿着四条体对角线进行测量，激光头固定于机器床台上，并使用调整镜来调校激光光束使其平行对角线，平面镜则固定于主轴上，并使其表面与激光光束垂直。

    3. 空间误差资料采集与分析 测量资料会由LDDM的窗口软件在每次机器停止或各单轴移动后自动采集，误差资料由LDDM软件分析，而每一轴的误差会自动计算，应用这些误差亦可自动产生误差补偿表，在此次试验中，机器不具任何误差补偿、具节距误差补偿、具空间误差补偿的这几笔测量资料皆会被采集到。 

    4. 测量结果 机器在不具任何补偿时的体对角线位移误差，其中对角线的方向以对角线的正向或反向增量表示。 不具任何补偿的四条体对角线位移误差，总误差为110mm机器在不具任何补偿时所测得的最大对角线位移误差为110mm，同样地，机器在具节距误差补偿时的体对角线位移误差，在此其最大位移误差为95mm，改善率为15%，而机器在具空间误差补偿时的体对角线位移误差，其最大位移误差为12.5mm，改善率为900%。 具节距误差补偿的四条体对角线位移误差，总误差为95mm，只有较小的改善具空间误差补偿的四条体对角线位移误差，总误差为12.5mm，改善了900%。

    六、讨论与总结 总结前面所述，我们已在亚崴的立式切削中心上完成向量测量与空间补偿，亚崴的立式切削中心的空间定位准确度可获得改善超过900%，在此可注意到如果只作节距误差补偿，则仅改善15%，因此只作节距误差补偿是不足够的，能够同时补偿节距误差及直线度误差是相对重要的。

    此外激光向量测量仅需2到4小时，大大取代了一般激光干涉仪需要20到40小时去测量的时间，激光架设相当简单，并且资料可自动采集，数据处理与补偿文件产生皆为自动，排除手动操作并减少误差，因此毋需经验丰富的工程师，机器操作者在接受训练后即可操作激光校验及校验。

（责编：晨雪）